氧化鋁氮化鋁靜電陶瓷吸盤平整面度是該產(chǎn)品在生產(chǎn)加工和出貨檢驗中，非常重要的一項指標(biāo)。因為這項參數(shù)是好壞，直接影響晶圓在蝕刻過程中產(chǎn)品不良率。在半導(dǎo)體加工中，對硅片的散熱工作相當(dāng)重要，如果無法保證硅片表面的均溫，則在硅片的加工過程中將無法確保加工的均勻性，加工精度也會受到影響。獲得大范圍的溫度域和充分的吸附力，靜電吸盤可通過自由度高的加熱器設(shè)計可以實現(xiàn)良好穩(wěn)定性；氮化鋁通過一體共燒成型，不會出現(xiàn)因電極的劣化造成歷時變化，最大限度的保障產(chǎn)品質(zhì)量；
方案選擇：激光影像測量儀（通過激光測量，可以得到平面內(nèi)高點和低點的高度差）
規(guī)格型號 | TOCK-432C |
量測范圍（XYZ） | 400X300X200 |
外觀尺寸 | 700X900X1650 |
平臺、底座材質(zhì) | 高精度花崗巖00級（山東濟南青） |
XY 精度 | （3+L/200）μm |
光柵尺分辨率 | XYZ：1μm |
鏡頭 | 4K高清鏡頭 |
鏡頭倍率 | 光學(xué)放大倍率：0.7X-4.5X |
CCD影像 | 1/1.8靶面尺寸 200萬像素彩色CCD |
氧化鋁氮化鋁陶瓷吸盤平整面度測量操作步驟：
選擇點集功能，選擇激光采點；找到要求平面度的面，對焦清晰，在激光采點界面選擇圖像，之后根據(jù)需要在平面上采兩個點，在激光采點界面會同步顯示采取的兩點，選中兩點鼠標(biāo)右鍵選擇組合路徑；
.選擇組合路徑之后，兩點會連成直線，將測量方式設(shè)定為掃描，點數(shù)設(shè)置為-1；
設(shè)置好之后選中直線，鼠標(biāo)右鍵選擇平移，根據(jù)產(chǎn)品大小選擇平移的距離、數(shù)量、方向。點擊完成
等待采點完成之后，元素列表區(qū)會出現(xiàn)一個點集，左鍵雙擊點集，圖像區(qū)會顯示剛才采取到的點，通過框選選取這些點，然后構(gòu)造平面；
構(gòu)造平面完成之后，元素列表即會得到一個平面，選擇平面，數(shù)據(jù)列表區(qū)即可得到平面度，測量值即為實際值
以上操作需要注意：在氧化鋁氮化鋁靜電陶瓷吸盤的平面上選擇起點與終點，在兩點連成的線段內(nèi)通過激光掃描取點，可以通過平移復(fù)制的方法將這個路徑覆蓋平面大部分位置，這樣能夠在平面內(nèi)取到足夠多的點形成點集，減小平面度計算誤差。
武漢易測儀器激光影像測量儀：設(shè)備優(yōu)勢
三軸搖桿控制，自動對焦，編輯程序后一鍵測量，完成后自動輸出測量報告。NG位置用紅色顯示。支持?jǐn)?shù)據(jù)上傳MES，自動化檢測站?？梢赃x配探針完成簡易三維測量，選配激光完成高度，透明物體厚度，以及曲面輪廓測量。
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